Санкт-Петербург, Политехническая ул., д. 29, Г.З., оф.234, общий отдел:  920-01-97, вакуумное оборудование: 920-71-97

Клапана

Клапана HPS

Отделение HPS компании "MKS Instruments" выпускает широкую гамму вакуумных клапанов и вакуумной арматуры. Оборудование HPS успешно применяется во многих областях вакуумной техники и технологии.

Тщательная обработка рабочих поверхностей и отработанная процедура очистки поверхности уменьшает до минимума дегазацию и утечки. Оборудование для высокого вакуума проходят специальную очистку и запечатываются в специальную упаковку, сохраняющую чистоту продукции до момента установки.

  1. Одноступенчатые клапаны
  2. Многоступенчатые клапаны
  3. Клапаны с подогревом
  4. Изолирующие клапаны
  5. Специальные клапаны
  6. Затворы высоковакуумные серии HV и сверхвысоковакуумные серии UHV

1. Одноступенчатые клапаны

Серия Внешний вид Краткое описание серии и основные технические характеристики
150/160 Одноступенчатые клапаны Серия 150/160 Универсальные клапаны серий 150/160 предназначены для работы при давлениях от атмосферного до ультра-высокого вакуума. Клапаны обладают большим ресурсом работы: более 1,000,000 циклов до обслуживания, успешно используются в полупроводниковой, химической промышленности, а также в исследовательских областях.
Фланцы: ISO-KF, CF ДУ 16-160
Варианты исполнения - угловые (серия 150), линейные (серия 160).
LoPro Одноступенчатые клапаны Серия LoPro Серия сильфонных тарельчатых клапанов LoPro отличается компактностью, что позволяет легко интегрировать их в откачную систему.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Возможен как пневматический, так и ручной привод.
Комплектуются уплотнителями: витон, силикон, Buna-N, Kalrez, Chemraz,
Фланцы: ISO-KF, CF ДУ 25-50
Cv Одноступенчатые клапаны Серия Cv Клапаны серии Cv отличаются высокой проводимостью, компактностью и надежностью, предназначены для работы при давлениях от атмосферного до ультра-высокого вакуума. Эти клапаны идеально подходят для полупроводниковой промышленности и в исследовательских системах. Клапаны обладают большим ресурсом: более 1,000,000 циклов до обслуживания. Также рекомендуются к применению в качестве байпасных, вентилирующих и напускных клапанов.

Варианты исполнения - линейные, угловые.
Фланцы: ISO-KF, CF
ECv Одноступенчатые клапаны Серия ECv Серия электромагнитных клапанов ECv идеально подходит для портативных откачных систем и аналитических систем. Также рекомендуются к применению в закрытых невентилируемых помещениях, во всех случаях, исключающих повышенную теплоотдачу.
Электромагнитный привод обеспечивает быструю и бесшумную реакцию на управляющий сигнал.
Клапаны обладают большим ресурсом работы: до 1.000.000 циклов до обслуживания при работе в чистых условиях.
UHV Одноступенчатые клапаны Серия UHV Клапаны серии UHV разработаны для использования в высоковакуумных областях, для физики высоких энергий, масс-спектрометрии и других областях, требующих применения ультрачистого оборудования. Внутренняя поверхность клапана обработана посредством электрополировки, все уплотнения выполнены полностью из метала.

2. Многоступенчатые клапаны

Серия

Внешний вид Краткое описание серии и основные технические характеристики
V2 Многоступенчатые клапаны Серия V2 Двухступенчатые клапаны серии V2 применяются для решения проблем откачки. Двухступенчатый клапан открывает сначала малый поток газа, а затем большой, что позволяет избежать образования турбулентности, обеспечивает плавную откачку.
Фланцы: ISO-KF ДУ 25-100
LPV2 Многоступенчатые клапаны Серия LPV2 Двухступенчатые клапаны серии LoPro применяются в системах, требующих компактной установки в системах со сложной интеграцией компонентов. Клапаны обеспечивают плавный процесс откачки.
Фланцы: ISO-KF ДУ 25-50.
Integrated LoPro Многоступенчатые клапаны Серия Integrated LoPro В тарельчатый клапан серии Integrated LoPro интегрирован в один модуль вместе с байпасным клапаном. Клапаны этой серии могут заменить байпасную линию, и обеспечивают плавный процесс откачки.
Фланцы: ISO-KF ДУ 25-50.

3. Клапаны с подогревом

Серия

Внешний вид Краткое описание серии и основные технические характеристики
Jalapeno Клапаны с подогревом Серия Jalapeno Одно- и двухступенчатые клапаны серии Jalapeno предназначены для высокотемпературных процессов, при работе с такими средами, как нитриды, используются в полупроводниковой промышленности.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Фланцы: ДУ50-100 ISO-KF, ISO-MF
170/180 Клапаны с подогревом Серия 170/180 Серия клапанов 170/180 специально разработана для работы со средами, такими как хлористый аммоний, способными застывать на поверхностях клапаны при нормальных условиях. Аналог серии 150/160, с подогревом корпуса до 80°С.
Варианты исполнения - линейные, угловые.
Фланцы: 1,5", 2" ISO-KF, 3" ISO-Universal
V-100 Клапаны с подогревом Серия V-100 Серия клапанов V-100 по характеристикам полностью аналогична серии 170/180.
Фланцы: 4" ISO-KF
Варианты исполнения - линейные, угловые.
JLoPro Клапаны с подогревом Серия JLoPro Клапаны серии Jalapeno LoPro предназначены для изоляции линий откачки и ловушек, предотвращают сублимацию веществ, увеличенный период обслуживания от 2-х до 12-ти недель или от 20 до 145 запусков.
Фланцы: ДУ25-50 ISO-KF

4. Изолирующие клапаны

Серия

Внешний вид Краткое описание серии и основные технические характеристики
IDAIn Situ Изолирующие клапаны Серия IDAIn Situ Клапаны серии IDA In Situ совмещают функции отсечного клапаны, предохраняющего датчики (Баратрон) от превышения давления, клапаны для установки нуля и периодической поверки Баратрона без его демонтажа, а также для диагностики камеры, в которой установлен датчик.
Cv Изолирующие клапаны Серия Cv Клапаны серии Cv отличаются высокой проводимостью, компактностью и надежностью, предназначены для работы при давлениях от атмосферного до ультра-высокого вакуума.. Эти клапаны идеально подходят для полупроводниковой промышленности и в исследовательских системах. Клапаны обладают большим ресурсом: более 1,000,000 циклов до обслуживания. Также рекомендуются к применению в качестве байпасных, вентилирующих и напускных клапанов.

Варианты исполнения - линейные, угловые.
Фланцы: ISO-KF, CF
ECv Изолирующие клапаны Серия ECv Серия электромагнитных клапанов ECv идеально подходит для портативных откачных систем и аналитических систем. Также рекомендуются к применению в закрытых невентилируемых помещениях, во всех случаях, исключающих повышенную теплоотдачу.
Клапаны обладают большим ресурсом работы: до 1.000.000 циклов до обслуживания при работе в чистых условиях.

5. Специальные клапаны

Серия

Внешний вид Краткое описание серии и основные технические характеристики
145 Специальные клапаны Серия 145 Клапан 145 SENTRY - автоматический клапан безопасности, не требующий внешних команд. Предназначен для поддержания камеры под вакуумом в случае отключения электрического питания на насосах. При остановке форвакуумного насоса открывается сервоклапан, который наполняется воздухом до давления 1 атм и не позволяет маслу подняться в форвакуумный насос.
Фланцы: ДУ 25, 40, 50.
225 Специальные клапаны Серия 225 Клапан 225 AUTO-SOFT - клапан с переменной проводимостью, экономичное устройство обеспечения плавного начала откачки. Сокращает турбулентность, энергонезависим. Типичное увеличение времени откачки в 3 раза. Клапаны этой серии находят свое применение в полупроводниковой промышленности и производстве тонких пленок, заменяя управляемые байпасные клапаны.ДУ 40, 50.

6. Затворы высоковакуумные серии HV и сверхвысоковакуумные серии UHV

Серия

Внешний вид Краткое описание серии и основные технические характеристики
HVISO DN 16 - 250 Затворы высоковакуумные серии HV и сверхвысоковакуумные серии UHV Серия HVISO DN 16 - 250
  • Корпус выполнен из алюминиевого сплава
  • Уплотнение: Viton
  • Индикация положения заслонки затвора
  • Уровень негерметичности: <10-9 мбар•л/с
  • Рабочий диапазон давлений: 1.10-7 мбар до 1.2 бар (абс)
  • Максимальный перепад давлений на заслонке затвора (в закрытом положении): 1.2 бар в любом направлении
  • Максимальный перепад давления на открытие: 30 мбар
  • Средняя наработка до первого сервисного обслуживания: 50 000 циклов
  • Ручное и пневматическое управление приводом затвора Присоединительные фланцы выполнены по стандарту ISO-KF DN 16-50 и ISO-F DN 63-250
  • Ориентация при установке произвольнаяoОтличительная особенность клапана - высокая проводимость
  • При потере давления воздуха в пневмо-системе затвора и отсутствии напряжения на электромагнитном клапане, заслонка затвора закрывается и механически блокируется.
UHVCF-F DN 63 - 250 Затворы высоковакуумные серии HV и сверхвысоковакуумные серии UHV Серия UHVCF-F DN 63 - 250
  • Корпус выполнен из нержавеющей стали
  • Уплотнение: Metal / Viton
  • Индикация положения заслонки затвора
  • Уровень негерметичности: <10-9 мбар•л/с
  • Рабочий диапазон давлений: 1.10-10 мбар до 1.6 бар (абс)
  • Максимальный перепад давлений на заслонке затвора (в закрытом положении): 1.2 bar в любом направлении
  • Максимальный перепад давления на открытие: 30 мбар
  • Средняя наработка до первого сервисного обслуживания: 50 000 циклов
  • Ручное и пневматическое управление приводом затвора
  • Присоединительные фланцы выполнены по стандарту CF-F по запросу заказчика возможно исполнение ISO-F
  • Ориентация при установке произвольнаяoОтличительная особенность клапана - высокая проводимость
  • При потере давления воздуха в пневмо-системе затвора и отсутствии напряжения на электромагнитном клапане, заслонка затвора закрывается и механически блокируется.

blms

mirror: www.tuap-spb.com

mirror: tuap-spb.narod.ru