Санкт-Петербург, Политехническая ул., д. 29, Г.З., оф.234, общий отдел:  920-01-97, вакуумное оборудование: 920-71-97

Дозаторы и регуляторы жидкого и парообразного агента

Модель

Точность

Верхний предел, ст.см3/мин

Особенности

1640А

>0.2%

2 .. 20 000

Полностью металлический регулятор расхода, использующий принцип измерения перепада давления. Рассчитан на входное абсолютное давление от 10 торр до 1.3 бар.
1150С

5%

до 1000

Регулятор массового расхода испаряемой/сублимируемой парогазовой смеси, использующий метод измерения давления. Данная модель управляет расходом пара без применения газа-носителя. Она разработана для систем с давлением процесса не выше 1 торр. Входное давление в регулятор: от 1 торр до 3 бар. Компактный моноблок.
1152С

5%

до 1000

Модели 1150C с двумя датчиками давления Баратрон (для меньшего перепада давлений Рвх/Рвых).
1153A

0.2 .. 3%

0 .. 10 000

Модель 1152C для точной и воспроизводимой подачи паров низкого давления (единицы торр) или сублимируемого газа из твёрдого источника. Полностью металлический, Траб  < 200°C.
VODMA

3%

1000, 3000

Модуль подачи водяного пара. Давление воды на входе: 1,3 .. 2,6 бар.
DLI-25

<1%

2.5

Система подачи пара. Содержит жидкостной насос, испаритель с регулятором температуры и микропроцессорный блок управления. Применяется для подачи строго дозированного количества жидкого агента в виде пара без необходимости контролировать нагрев каналов между резервуаром с жидкостью и регулятором. Диапазон регулирования расхода жидкости: 0.006 .. 2.5 см3/мин, Траб  < 250°C, рабочее давление 0,7 .. 17 бар.

Подача пара с помощью регулятора модели 1153A

 

Модели 1150C и 1152С применяются для подачи паров таких жидкостей, как TEOS, DADBS, HMDS, TMCTS, TiCl4, TaCl5, TEAL, TEB, TEG, TEI, TIBAL, TMAL, TMB, TMG, TMI, TMP.

blms