Санкт-Петербург, Политехническая ул., д. 29, Г.З., оф.234, общий отдел:  920-01-97, вакуумное оборудование: 920-71-97

 

Масс-спектрометрические установки Vision 1000

 Масс-спектрометрические установки Vision 1000 разработаны для газового анализа и мониторинга вакуума, и представляют собой полностью интегрируемые специальные установки для применения в различных процессах на основе на основе квадрупольного масс-спектрометра серии MicroVision Plus с программным обеспечением Process Eye 2000.

Vision 1000-B (vacuum baseline RGA) - базовая версия масс-спектрометрической установки для диагностики и мониторинга при минимальном задействовании оператора с небольшими знаниями в области масс-спектрометрии. Простое отображение информации о скорости откачки, текущем газовом состоянии и проверка герметичности. Установка Vision 1000B комплектуется квадрупольным масс-спектрометром MicroVision Plus на 100, 200 или 300 а.е.м, вакуумной камерой, электропневматическим изоляционным клапаном.

Vision 1000-С (RGA for CVD processes) - версия разработана для процессов реактивного напыления таких как: титан нитридного (TDMAT), титан оксидного, атомарного напыления CVD, MOCVD и других. Установка Vision 1000-С комплектуется системой дифференциальной откачки вакуумной камеры с масс-спектрометром MicroVision Plus на 300 а.е.м, специальной отсечной и изолирующей системой "Unibloc", которая позволяет проводить диагностику при давлениях от 700 Торр.

Vision 1000-E (RGA for etch processes) - версия разработана для процессов травления таких как: реактивное ионное травление (RIE), плазменное травление, микроволновое травление. Установка Vision 1000-Е комплектуется системой дифференциальной откачки вакуумной камеры с масс-спектрометром MicroVision Plus на 200 а.е.м, специальной отсечной и изолирующей системой "Unibloc", позволяющая проводить диагностику при давлениях до 500 мТорр.

Vision 1000I (ion implant RGA) - версия разработана для процессов ионной имплантации. Установка Vision 1000-I комплектуется масс-спектрометром MicroVision Plus на 100, 200 или 300 а.е.м, вакуумной камерой, электропневматическим изоляционным клапаном и специальной прогревающей рубашкой.

Vision 1000P (process RGA system) - аналог базовой версии, комплектующаяся системой дифференциальной откачки вакуумной камеры с масс-спектрометром MicroVision Plus на 100, 200 или 300 а.е.м, электропневматическим изоляционным клапаном.

blms