Санкт-Петербург, Политехническая ул., д. 29, Г.З., оф.234, общий отдел:  920-01-97, вакуумное оборудование: 920-71-97

 Масс-спектрометр MicroVision Plus

Масс-спектрометр MicroVision Plus

 Mасс-спектрометр серии MicroVision Plus самый совершенный RGA масс-спектрометр. Высокостабильный к ВЧ воздействиям, обладает минимальным температурным дрейфом и быстрым выходом на режим, обеспечивает высокоскоростное сканирование в широком диапазоне а.е.м. и мгновенным определением отклонения парциального давления газа. Масс-спектрометры серии MicroVision Plus имеют встроенный предварительный фильтр анализатора для обеспечения предотвращения "загрязнения" и увеличения чувствительности по большим а.е.м., гибкие возможности для соединения с промышленным ПО и другими датчиками. Опционально возможна комплектация масс-спектрометра MicroVision Plus ионным источником для глубокого вакуума (UHV). Существует "высокоточное" исполнение масс-спектрометра для газового анализа в диапазоне 1-6 а.е.м.

Программное обеспечение (ПО) RGA под WindowsTM позволяет отображать данные в виде гистограммы с сопоставлением данных из библиотек, "скачек" (резкое изменение концентрации газа), анализ тенденции изменения, "контроль герметичности" и режим быстрого сканирования. ПО RGA под WindowsTM включает в себя функцию DDE (динамического обмена данными) для обмена с программами под WindowsTM. ПО имеет функцию "разделенной перекалибровки", которая может быть использована как в режиме "офф-лайн" или в режиме "имитации", так и режиме настройки с использованием реальных данных. Возможно также использование мощного пакета ПО Process Eye 2000, которое позволяет полностью автоматизировать процесс работы масс-спектрометра и отслеживать сканируемые параметры, отображать данные, записывать данные в файл (вести файл отчета), отслеживать параметры ионного источника. 
 

Технические характеристики:
Основные

 

Диапазон измеряемых масс

1-100 а., 1-200 а.е.м., 1-300 а.е.м. стандартное исполнение
1-6 а.е.м., 1-100 а.е.м. высокоточное  стандартное исполнение

Детектор

чаша Фарадея
чаша Фарадея и УВЭ с канальной пластиной
чаша Фарадея с одиночным УВЭ

Максимальное рабочее давление

7,5х10-5 Торр (1х10-4 мбар)

Минимальное определяемое
парциальное давление

1,5х10-11 Торр (2х10-11 мбар) чаша Фарадея
3,8х10-14 Торр (5х10-14 мбар) чаша Фарадея и УВЭ с КП
7,5х10-15 Торр (1х10-14 мбар) чаша Фарадея с одиночным УВЭ

Стабильность

±0,1 а. за 8 часов работы при
постоянной температуре окружающей среды

Разрешение

менее 10% между пиками с равными высотами
по всему диапазону измеряемых масс

 
 

Анализатор

 

Температура отжига

2500С (без электронной части)

Максимальная рабочая температура

2000С (только для детектора чаша Фарадея,
электронный блок в горизонтальном положении)

Ионный источник (опционально)

Открытый, UHV, закрытый и перекрестный

Чувствительность
ионного источника

2х10-4 А/Торр

Энергия электронов

20 - 100 эВ (регулируется через компьютер)

Ток эмиссии

0 - 5 мА (регулируется через компьютер)

Энергия ионов

0 - 10 В (регулируется через компьютер)

Энергия экстракции ионов

0 – минус 130 В (регулируется через компьютер)

Высоковакуумный анализатор
спектра дегазации

менее чем 1х10-9 мбар литр/сек

Катоды

двойные вольфрамовые (опционально ThO2 / Ir или Y2O3 / Ir)

 
 

Блок управления

 

Вес электронного модуля

2,1 кг

Максимально допустимая
температура окружающей среды

350С и относительная влажность 80%

Светодиодные индикаторы

катод 1, катод 2, УВЭ, электропотребление, внешнее подключение

Программное обеспечение

RGA для WindowsTM
Process Eye 2000

Интерфейс

RS232 или RS422

Дополнительные возможности

- аудио динамик с регулируемым уровнем громкости
при работе в режиме проверки герметичности
- аудио динамик и разъем для внешней защиты катода
- instrument reset

Требования к компьютеру

Pentium III 90МГц, 64МВ, 6GB, Win 98

 
 

Опции и Plug-in модуль

 

Вес электронного модуля

2,1 кг

Внешняя радиационная защита,
блок управления вынесен

на 3 метра или 15 метров

Удаленный контроллер вакуума

обеспечивает блокировку с компьютера
дифференциальной вакуумной откачной системы

Соленоид клапана

конвертер TTL логических сигналов в многократный
24 В выходной сигнал

Контроллер клапана

обеспечивает автоматическое управление
с компьютера многоходового клапана

blms