Санкт-Петербург, Политехническая ул., д. 29, Г.З., оф.234, общий отдел:  920-01-97, вакуумное оборудование: 920-71-97

 Масс-спектрометр HPQ2/HPQ2S

Масс-спектрометр HPQ2/HPQ2S

Компактные масс-спектрометры HPQ2/HPQ2S специально разработаны для газового анализа процессов с повышенным
рабочим давлением. Эти масс-спектрометры идеально подходят, в тех случаях, где нет высоковакуумной системы откачки.
Масс-спектрометр HPQ2S использует специальные алгоритмы для компенсации флуктуации чувствительности, обусловленной ионно-молекулярным взаимодействием, которое присутствует при повышенном давлении. Эти алгоритмы основаны на специфических характеристиках газов. HPQ2 и HPQ2S позволяют оптимизировать работу и следить за качеством и чистотой вакуума, работать в режиме контроля герметичности (тест по гелию), осуществлять газовый мониторинг, включая анализ воздуха
и паров воды, и т.д.…

Технические характеристики:
Основные

 

Диапазон измеряемых масс

2-80 а.

Детектор

чаша Фарадея

Максимальное рабочее давление

1х10-3 Торр (1,3х10-3 мбар) - HPQ2
8х10-3 Торр (1,0х10-3 мбар) - HPQ2S

Максимально допустимое рабочее давление 15х10-3 Торр (возможно повышение давления до 40х10-3 Торр
в переходном режиме)
Минимальное определяемое парциальное давление

8х10-11 Торр (1,0х10-11 мбар)

Минимальная определяемая концентрация

5ppm при 1х10-3 Торр (1,3х10-3 мбар)

Стабильность

±0,1 а. за 8 часов работы при постоянной температуре окружающей среды

Разрешение

1 а. на уровне 10% от пика

Анализатор

 

Температура отжига

2500С (без электронной части)

Длина детектора

25 мм

Чувствительность
ионного источника

5х10-5 А/Торр

Энергия электронов

регулируется через компьютер и ПО ProcessEye 200

Ток эмиссии

регулируется через компьютер и ПО ProcessEye 200

Катоды

независимые двойные вольфрамовые или
из оксида тория (заменяемые)

Блок управления

 

Вес электронного модуля

2,3 кг

Электропитание

24 В, 3 А

Максимально допустимая
температура окружающей среды

350С и относительная влажность 80%

Светодиодные индикаторы

катод 1, катод 2, электропотребление, внешнее подключение

Вводы/выводы

- дополнительный ввод/вывод для тревог и аналоговых входов
- 4 аналоговых входа (0-10В, 16 bit)
- 1 аналоговый выход (0-10В, 16 bit)
- 16 TTL выходные сигналы
- 1 опторазвязка для контроля катодов

Программное обеспечение

Process Eye 2000

Интерфейс

RS232 или RS422

Требования к компьютеру

Pentium III, 233МГц, 64МВ, 6Gb HDD

blms