Санкт-Петербург, Политехническая ул., д. 29, Г.З., оф.234, общий отдел:  920-01-97, вакуумное оборудование: 920-71-97

ТЕХНОЛОГИЯ И ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ АЛМАЗОПОДОБНОГО ПОКРЫТИЯ

AFM изображение поверхности алмазоподобной плёнки.

Шероховатоть поверхности порядка 5 нм.

 

Пробы микро-твёрдости алмазоподобного покрытия

РЧ и СВЧ установки для плазменного осаждения с поверхностью осаждения 75 мм в диаметре.

 

Установка для плазменного осаждения оснащена двусторонней системой электродов с площадью 50×50 см.
Эта установка позволяет обрабатывать 3-D объекты 40×40×15 см.

ОСНОВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ ПОКРЫТИЯ:

высокая твёрдость, низкий коэффициент трения, низкая химическая активность, низкая электропроводность, высокая теплопроводность

 ОСНОВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ:

Толщина покрытия от 0.3 до 2 мкм,
содержание алмазоподобной фракции до 64 %
скорость роста плёнки - 0.06 мкм/мин,
обрабатываемые материалы - стекло, кристаллический кремний, титан, нержавеющая сталь, молибден, никель и т.д.

 Области применения.

    ЭЛЕКТРОНИКА, МАШИНОСТРОЕНИЕ, МЕДИЦИНА, ОПТИКА
    в качестве: защиты от царапин, диэлектрика, просветления оптики, антифрикционного покрытия, антикоррозийного покрытия,  биологически совместимого покрытия.

Описание.

Техника использует принципы плазменного осаждения газообразных химических соединений (PECVD) . Разработанный метод позволяет получать покрытие из алмазоподобного углерода толщиной 0.3 ÷ 2 мкм (с долей sp3 до 64%) на подложке из кремния, стекла, титана или нержавеющей стали. Достигнутая скорость плёнки – 1 нм/с.

Преимущества.

  • возможность подбора параметров покрытия 

  • низкая стоимость покрытия

  • низкая температура при покрытии (ниже 300 °)

  • покрытие материалов с низкой температурой плавления и материалов, боящихся термического отжига

  • совместимо со стандартной полупроводниковой технологией

  • возможность нанесения покрытия на большой площади

Стадия разработки.

Разработан и протестирован базовый метод нанесения алмазоподобного покрытия. Разработан и изготовлен крупный полупромышленный реактор.

Предложение сотрудничества.

Группа разработчиков заинтересована в совместном исследовании, напрвленном на адаптацию разработанной техники для покрытия объектоа по заказу конечных пользователей. Мы так же можем оказыать консльтации по оптимизации разработке просесса плазменного осаждения химических веществ 

Для хорошо отлаженного процесса с большим объёмным выходом продукта стоимость алмазоподобного покрытия составляет около 0.5 EUR/см2.