Санкт-Петербург, Политехническая ул., д. 29, Г.З., оф.234, общий отдел:  920-01-97, вакуумное оборудование: 920-71-97

ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ СЕРИИ АТР
ЭТО 5 МОДЕЛЕЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫХ НАСОСОВ, ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬЮ ОТ 80 ДО 900 Л/С.

Принцип работы турбомолекулярного насоса (турбины):
В режиме молекулярного течения газа молекулы из откачиваемого объёма по достижении ими естественным путем входного фланца турбины захватываются системой вращающихся дисков ротора и неподвижных дисков статора. Благодаря наличию спрофилированных каналов в обоих видах дисков, захваченные молекулы направляются в направлении выхлопа насоса.

1-Всасывание
2-Ротор
3-Статор
4-Керамические подшипники
5-Динамическое уплотнение
6-Выхлоп
7-Электрический мотор

Главные отличительные особенности насосов этой серии:
-
Керамические подшипники с вязкой смазкой;
-Изменяемая скорость вращения ротора от 6000 до 27000 об/мин.;
-Три типа охлаждения: натуральная конвекция, принудительное воздушное или водяное
- Исполнение "С" (Химстойкое, с продувкой азотом) для использования с химически агрессивными газами;
- Исполнение "HPC" для задач микроэлектроники;

Семейство контроллеров АСТ Контроллеры серии АСТ:
Семейство контроллеров серии АСТ для ТМН серии АТР имеет широкие возможности по использования и стыковки с внешними устройствами:
- Буквенно-цифровой индикатор;
- Мембранная клавиатура;
- Отслеживание ключевых параметров работы и диагностика состояния;
- Релейная коммутация внешних цепей в зависимости от состояния оборудования;
- Управляющие входы с оптронной системой развязки;
- Последовательный интерфейс RS232/485;
- Работоспособен при сетевом питании от 85 до 264 В, 50/60 Гц.
 Различные исполнения насосов серии АТР:

(1) Стандартное исполнение -Откачка чистых нейтральных газов:

Как и во всех насосах этой серии в турбинах стандартного исполнения скорость вращения ротора регулируема для оптимальной адаптации для задачи заказчика.

Различают следующие скоростные режимы:
-номинальная скорость вращения, которая соответствует максимальной скорости вращения ротора - 27000 об/мин.
-редуцированная скорость вращения (или режим ожидания), соответствующая устанавливаемой пользователем скорости в диапазоне от 6000 об/мин до 27000 об/мин.

(2) Исполнение химстойкое - Откачка агрессивных сред:

Специальное инверсное динамическое уплотнение между п/ш и выхлопной полостью минимизирует количество откачиваемого газа, проникающего в узлы п/ш и контактирующего с ними, тем самым существенно продлевая ресурс их работы до замены. В случае сверхвысоковакуумных систем для зашиты ТМН достаточно использования одних динамических уплотнений. Но в случае применения ТМН в задачах с большой газовой нагрузкой (потоком) рекомендуется также задействовать встроенную систему продувки п/ш азотом.

(3) Исполнение HPC (High Pressure Corrosive) (Химстойкое высокого давления)
Для задач микроэлектроники.

Это исполнение насосов разработано для задач микроэлектроники, где встречается высокая газовая нагрузка при достаточно высоких для ТМН давлениях на всасывании.
Это исполнение отличается следующим:
-усиленной защитой п/ш-эффективную защиту п/ш во время прекращения продува ТМН азотом при настройке самого технологического оборудования.
-сокращенный газовый поток, потребный для продува узлов п/ш.
-увеличенный ресурс ТМН при использовании на откачке агрессивных газов.
Корпус ТМН имеет прогревающие каналы для горячей воды (Т<65°C) для предотвращения конденсации на рабочих элементах ТМН откачиваемых газов.

Выпускаемые серийно турбомолекулярные насосы:

Турбины ATP
80
80 C
ATP
100
100 C
ATP
150
150 C
ATP
400
400 C
ATP 400
HPC
ATP
900
900 C
ATP
900
HPC
Фланец на всасывании DN 63 ISO-K DN 100 ISO-K DN 100 ISO-K DN 160 ISO-K DN 100 ISO-K DN 200 ISO-K DN 200 ISO-K
  DN 63 CF-F DN 100 CF-F DN 100 CF-F DN 160 CF-F DN 160 ISO-K DN 200 CF-F DN 200 CF-F
Тип охлаждения:
 
             
Естеств.конвекция Х Х          
Принудит. воздушное Х Х Х Х   Х  
Водяное Х Х Х Х Х Х Х
Контроллеры              
  ACT 200 T  ACT 600 T  ACT 1000 T 
Стандартные длины кабелей (турбина/контроллер) 1 м / 1,5 м 3,5 м / 5 м 10 м / 20 м 1 м / 1,5 м3,5 м / 5 м10 м / 15 м / 20 м 3,5 м / 5 м 10 м
Наличие упрощенных контроллеров для монтажа в стойку
Х
Х
 

blms