Санкт-Петербург, Политехническая ул., д. 29, Г.З., оф.234, общий отдел:  920-01-97, вакуумное оборудование: 920-71-97

ГИБРИДНЫЕ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ СЕРИИ АТН М.

Насосы серии АТН-М относятся к классу больших гибридных турбонасосов и сочетают в себе две последовательно выстроенные ступени: турбомолекулярную и молекулярную. Первая ступень обеспечивает высокую скорость откачки и глубокое разряжение, а вторая – большие степени сжатия и широкий диапазон допустимых  давлений на фланце выхлопа.

Ротор всех насосов этой серии имеет магнитный подвес, что исключает применение смазки и делает серию АТН-М абсолютно безмаслянной. Это же обстоятельство, в отличие от насосов на подшипниках качения, обеспечивает отсутствие трения. Таким образом, насосы серии АТН-М, при использовании их в чистых процессах, не требуют периодического обслуживания. Во многих применениях такого рода АТН-М непрерывно работают многие годы без единого вмешательства.

Геометрия поверхностей ротора и статора каждой модели АТН-М вычислена при помощи компьютера. При этом ключевыми условиями были обеспечение большого потока откачиваемого газа при высоком давлении на фланце всасывания (для случаев большого газовыделения в объёме) и способность достигать глубокого разряжения (8*10-9 мбар), а также минимальные гидродинамические потери. Ротор и статор изготавливаются высокоточным фрезерованием (+/- 1 мкм) из цельной заготовки, благодаря чему исключены дисбалансы и остаточные напряжения металла в местах крепления лопастей.

АТН-М одна из самых надёжных систем в своём классе. Конструкция насоса не имеет механически изнашивающихся деталей, что исключает периодическое обслуживание. Даже в случае аварийного отключения сетевого питания во время вращения ротора система авторотации обеспечит плавную его парковку. При этом не требуется источник бесперебойного питания, так как система использует энергию вращения ротора. Единственный элемент, который может потребовать замены - резервные роликовые подшипники торможения. Они включены в конструкцию насоса на случай непроизвольного отсоединения работающего насоса от контроллера либо обширного прорыва атмосферы в откачиваемый объём. В этих двух экстренных случаях резервные подшипники обеспечат безопасное торможение ротора. Ресурс подшипников – до 10 торможений. О необходимости их замены подскажет контроллер.

Основные области применения.

Осаждение покрытий, плавильные печи, глубокое травление микромеханических элементов, ионная ректификация, ионное травление, электронная микроскопия, имитация космического пространства, ускорители частиц, производство полупроводников, научные исследования и т.п.

Система автоматической балансировки.

Роторы насосов серии АТН-М снабжены системой автоматической балансировки по 5 осям. Балансировки осуществляется в реальном времени. Контроллер обнаруживает дисбаланс, сравнивая показания датчика положения по каждой из осей с эталонным банком данных, и вырабатывает управляющий сигнал на соответствующее изменение тока в электромагнитах. Автоматическая балансировка позволяет насосу эффективно работать даже в условиях интенсивного осаждения загрязнений на лопастях и исключить возникновение вибраций.

Система предотвращения внутренних конденсаций.

Продувка инертным газом является стандартной системой для всей серии АТН-М. Её следует задействовать в случае откачки тех сред, которые содержат коррозионные газы либо легкоосаждаемые субстанции. При вдувании, инертный газ проходит через область подшипников и соединяется с откачиваемой средой на уровне нижнего фланца молекулярной ступени, препятствуя, таким образом, попаданию откачиваемой среды под юбку ротора и, как следствие, возникновению осаждений и коррозии в наиболее чувствительных областях насоса.

Таблица технических характеристик турбонасосов серии АТН-М:

Характеристика

 

Ед. изм.

ATH 400 M ATH 1300 M ATH 1600 M ATH 2300 M
     

ATH 400 MT

ATH 1300 MT ATH 1600 MT ATH 2300 MT

Скорость вращения ротора

1/об

39000 34000 39000 31000

Фланец на всасывании

    DN

100

ISO-K

DN

160

ISO-K

DN

160 ISO-K

DN

200 ISO-K

DN

200 ISO-K

DN

250 ISO-K

DN

250 ISO-F

                   
 

N2

л

320 410 920 1250 1400 1500 2100

Скорость откачки по:

He

л

290 360 810 850 1150 1150 2200
 

H2

л

180 230 490 550 750 750 1200
             
 

N2

мбар

1x107 1x107 6x107 1x108

Степень сжатия по:

HE

мбар

2x103 2x103 8x103 1x104
 

H2

мбар

1x102 1x102 3x102 5x102
             

Предельное разряжение

мбар

8x10-9 8x10-9 6x10-9 4x10-9

Расход продувочного газа

sccm

50 50 50 50

Мак. давление на всасывании N2

мбар

1 0.5 0.2 0.15

Макс. давление на выхлопе N2

мбар

2 1.5 1.5 1.5

Макс. откачиваемый поток

sccm

2000 3000 2500 2500

Макс. прогрев (исполнение МТ)

°С

75 75 75 75

Макс. температура на всасывании

°С

120 120 120 120

Эл.питание для прогрева

 

От 100 до 120В - 50/60Гц или от 200 до 240В- 50/60 Гц

Уровень вибрации

мкм

0,01

0,01

0,01

0,01

Параметры охлаждающей воды

 

Расход <1л/мин, температура от 15°C до 25°C

Рабочее положение

 

Любое

Выхлопной / и Фланец продувки/

 

DN40 / продувка –DN16

Время запуска

Мин

<3

<5

<6

<10

Вес турбины

Кг

19

34

35,5

46

Контроллер

  ACT 600 M ACT 1300 M ACT 1300 M ACT 2300 M

Вес контроллера

Кг

8

8

8

8

Пусковая потребляемая мощность

ВА

650

650

650

650

Номинальная потребляемая мощность

Вт

300

300

300

350

Питание контроллера

 

От 100 до 240В –50/60Гц- однофазное

 

blms